上海交大取得纳米加工新进展碳纳米管与金属电极焊接

　　上海交通大学微纳科学技术研究院在纳米器件加工技术研究方面近日取得重要进展，由张亚非教授领衔的课题组成功实现了碳纳米管与金属电极的焊接，为电子器件进一步“瘦身”、提升性能打破瓶颈。

　　目前半导体工业加工器件的最小特征线宽约为65纳米，而要进一步缩小线宽无论在工艺的复杂程度还是加工成本上都将大幅度提高。近年来，世界上许多科学家都在开展纳米器件的研究，但是，由于缺乏实现纳米材料与金属电极之间可靠的结合方法，限制了研究的进展。

　　张亚非教授课题组通过使用一个次兆声波超高频微幅振动的压头对处于金属表面上的碳纳米管施压，成功地将碳纳米管埋入和焊接到金属电极上，形成可靠的电接触连接和键合。实验证明，这种焊接不仅“牢靠”，而且构成的纳米电子器件性能优越。

　　该项纳米焊接技术属于国际上纳米技术前沿领域的重要创新成果，标志着我国在制造纳米器件领域可以利用纳米材料构筑高可靠性的纳米器件。