烟台造中国芯填补世界空白全球首款8微米热成像探测器芯片诞生

近日，烟台睿创微纳技术股份有限公司发布的2020年报披露，公司成功研发出世界第一款像元间距8微米的非制冷红外热成像探测器芯片，填补了该领域世界空白。

睿创微纳研发出像元间距8微米的非制冷红外热成像探测器芯片晶圆

该芯片突破了低噪声读出电路、高均匀性氧化钒薄膜、亚波长光学吸收结构、小像元自加热效应补偿等一系列核心技术，能够实现更高的空间分辨率，提升运动目标捕捉能力，是非制冷红外焦平面探测器技术发展史上的一个重要里程碑。

长期以来，高端红外热成像探测器芯片领域被欧美几家大公司牢牢占据。面对国外技术封锁、产品限制禁令等“卡脖子”困境，包括烟台睿创微纳在内的红外成像领域民族企业坚持从零起步，奋起直追：2009年，北方广微第一颗45微米非制冷红外探测器芯片研发成功。此后，我国红外探测器芯片在10年的时间里，从45微米、38微米、35微米、25微米、20微米、17微米，不断迭代升级，红外探测器芯片像元尺寸的技术高地不断被中国突破。

8微米1920 x 1080红外热成像机芯拍摄图像

2015年，睿创微纳发布国内第一款14微米1024 x 768红外探测器芯片；2017年，睿创微纳发布国内第一款12微米1280 x 1024探测器芯片；2019年，睿创微纳发布世界最先进的10微米百万像素红外探测器芯片，成为世界第二家掌握10微米非制冷红外技术的公司。如今，这项记录被睿创微纳再次刷新，这一技术的突破，将推动全球小像元红外热成像光学和图像算法等技术发展，推动超小像元红外焦平面探测器芯片在多个新领域的广泛应用。

成立于2009年的烟台睿创微纳，专注红外成像领域,核心技术涵盖集成电路芯片、敏感薄膜技术、MEMS传感器和先进真空封装四大领域,已累计获授权及受理知识产权项目共662件。2019年7月22日，该公司在上交所成功上市，是山东省第一家在科创板上市的企业。

睿创微纳的异军突起,离不开烟台开发区创新沃土的“滋养”。目前，该区累计拥有市级以上研发平台261家，高新技术企业278家，规模以上高新技术产业产值占工业总产值的4/5。未来三年，开发区将致力于打造微纳半导体产业链，依托睿创微纳、明石研究院、一诺电子、台芯电子等企业，加速建设新型半导体研发制造平台、封装材料测试平台和MEMS芯片综合研发实验线，快速集聚半导体材料、芯片设计、芯片制造、封装测试等产业链企业，争创国家微纳制造创新中心。