2021年3月18日高新区拟批准环境影响报告表的情况

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项目名称

建设地点

建设单位

环评机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众反馈意见的

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年产10万片6英寸垂直双扩散金属氧化物半导体芯片智能化升级技改扩能项目

江阴市长山大道78号

江苏新顺微电子股份有限公司

南京源恒环境研究所有限公司

江苏新顺微电子股份有限公司成立于2002年7月，位于江阴市长山大道78号，拟利用已租用车间，新购置贴膜机、自动显微镜、全自动测试台等设备36台套，并利用现有部分设备，进行垂直双扩散金属氧化物半导体芯片（VDMOS）的生产，项目投产后产品产能为10万片/年。

1、大气污染物：CVD、等刻废气污染物收集后利用现有碱液喷淋+活性炭吸附处理后经由现有25米排气筒DA001排放；扩散炉废气污染物收集后利用现有喷淋塔处理后经由现有25米排气筒DA002排放；清洗、腐蚀、注入废气污染物现有干法尾气处理装置+喷淋塔处理后经由现有25米排气筒DA003排放；光刻、有机清洗废气污染物利用拟改造的活性炭吸附浓缩+催化燃烧装置处理后经由现有25米排气筒DA004排放。

2、废水：含氮磷生产废水经处理后循环利用，不排放；不含氮磷废水接管至江阴城东科林环境有限公司处理达标后通过江阴市清泉水处理公司尾水排放口排放至东横河。

3、噪声：选择低噪声设备、采取消声、减振降噪措施，距离衰减。

4、固废：本项目产生的危险废物：废氨水、废腐蚀液、废有机溶剂、含重金属废挡板、废膜、废氢氟酸、废溶剂空桶、废活性炭、废润滑油、废滤料、废包装材料、废催化剂等，收集后委托有资质单位进行合理处置。

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