引全球优质项目在沪产业化微工院在超越摩尔领域弯道超车

　　摩尔定律，是英特尔创始人戈登摩尔提出的集成电路技术演进趋势。目前，英特尔、三星、台积电等少数企业紧随摩尔定律，进入了14纳米工艺节点，其他企业要在短期内赶上很困难。然而，集成电路业界还有一个名词：超越摩尔（MorethanMoore），意指非数字、多元化半导体技术与产品（如市场巨大的传感器）可以在成熟的工艺生产线上研发，无需遵循摩尔定律，在工艺尺寸上越做越小。

　　坐落于嘉定的上海微技术工业研究院，要在超越摩尔领域有所作为，使上海在全球半导体产业竞争中弯道超车。在市政府支持下，微技术工研院的8汲越摩尔研发中试线正在加紧建设，预计明年下半年建成。这一国际上屈指可数的8佳蟹⒅惺韵撸是微技术工研院吸引全球优质研发项目在上海实现产业化的基地，也是与比利时微电子研究中心（IMEC）合作的重要基础。引人注目的是，微技术工研院在科研的体制机制上也作了不少有益的探索。

　　5页PPT引发的世界级研发机构

　　说起微技术工研院的缘起，中科院上海微系统与信息技术研究所所长、微技术工研院发起人王曦院士记忆犹新。2012年9月，他用一个只有5页的PPT文件，向市领导以及中科院上海分院、市科委负责人报告了超越摩尔计划。

　　那时，超越摩尔技术研发在国际上方兴未艾，一些专家意识到，与竞争残酷的摩尔定律技术路线相比，超越摩尔这片蓝海温和得多：摩尔定律技术路线的投资量级是10亿美元，产品只有计算和存储芯片，我国水平最高的芯片制造企业与英特尔相比，还有较大差距；而超越摩尔技术路线的投资量级是百万美元，产品种类非常丰富，其主要产品传感器的品种多达上千。

　　随着智能手机的兴起，传感器市场急剧扩张，加速度传感器、陀螺仪、磁传感器等已成为手机标配。摩尔定律和超越摩尔的市场份额，差不多是1∶1。上海拥有国内一流的集成电路研发和产业基础，应实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。王曦说。

　　这个建议得到了采纳。2013年5月，聚焦超越摩尔技术的上海微技术工研院成立。微技术工研院被列为重点培育对象，专家还为它找到了一家对标机构比利时IMEC。虽位于欧洲小国，但IMEC在竞争激烈的微电子领域大获成功，成为欧洲最大的独立微电子研究中心。市科委提出，上海作为我国集成电路创新能力最强、产业发展最好的地区之一，有必要、也有能力举全市之力，以培育打造超越摩尔世界级科学中心为抓手，加快在微技术领域布局攻关。

　　财务人事自主，政府3年一考核

　　打造世界级研发机构，体制机制创新是关键。微技术工研院是企业，与事业单位相比，和市场结合得更为紧密，在经费使用、员工聘任方面拥有充分的自主权。今年，原IMEC中国总经理高腾被微技术工研院聘为首席战略官，在把IMEC管理经验引入的同时，也促进了微技术工研院与IMEC在超越摩尔、光电子等领域的深度合作。王曦说，《关于加快建设具有全球影响力的科技创新中心的意见》（以下简称《意见》）出台后，海外高层次人才引进更为便利，微技术工研院将引进更多人才。

　　在高腾看来，国内传统科研院所在财政科研经费的使用上存在一大问题，那就是管得太死，购买设备必须报批立项的规定降低了效率。而在集成电路产业界，时间真的就是金钱，因为技术每隔两三年会更新一代，如果决策购买一台设备都需要几个月，国内研发机构与国际领先水平的差距将越拉越大。

　　针对这一问题，微技术工研院正在探索目标管理制度，将事前报批制改为事后考核制。在具体的经费使用上，公司负责人拥有自主权；而在财政经费总量上，采用政府投入与单位绩效挂钩制度：公司运营收入高，政府投入也高，反之政府投入就少。政府对微技术工研院的业绩考核每3年进行一次，3年一小考，6年一大考。

　　在科研院所分类改革问题上，《意见》指出：对前沿和共性技术类科研院所，建立政府稳定资助、竞争性项目经费、对外技术服务收益等多元投入发展模式。作为超越摩尔共性技术研发机构，微技术工研院探索的正是这一模式。依靠政府的前期投入，这家成立至今只有2年的研究院已初具规模，孵化出8家创新型企业，数款拥有自主知识产权的传感器进入了市场。

　　上海矽睿科技有限公司，就是微技术工研院孵化出的一家企业。公司首席执行官谢志峰博士向记者展示了他们研制的磁传感器。这是全球首款单芯片三轴AMR磁传感器，与苹果iPhone配备的AKM磁传感器相比，它的误差更小，使手机室内导航成为可能。而与市场上采用3颗芯片的AMR磁传感器相比，它只用1颗芯片，集成度更好，成本更低。

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　　在超越摩尔领域，要占得先机就要有自己的8佳蟹⒅惺韵摺

　　这条令人翘首以盼的8佳蟹⒅惺韵叱Х浚已完成结构封顶，预计明年下半年建成。有了它，不但矽睿等孵化企业能充分利用，国内外知名企业也可以通过合作，在这条线上进行工艺研发。王曦说，微技术工研院已进入快速发展期，以它为研发中心的物联网产业生态系统，也已基本绘就。

　　据介绍，占地8001000亩、毗邻微技术工研院的物联网芯天地产业园正在建设中。未来，微技术工研院孵化的企业将入驻产业园。与其一同入驻的，还将有物联网产业链上下游企业、跨国企业研发机构和风投基金。这些企业能开展协同创新，开发传感器等微技术产品。

　　王曦认为，未来是物联网遍布的智能时代，万物互联是那个时代的特征，配备在各种物品上的传感器数量将达到千亿规模。通过谋划布局世界级研发机构，上海将力争在传感器和物联网产业的全球竞争中占得先机。