保税区金瑞泓硅材料研究技术创新团队科研成果丰硕
以田达晰博士为带头人的浙江金瑞泓科技股份有限公司硅材料研究技术创新团队,致力于半导体材料研发,通过多年潜心研究和项目开发,“微量掺锗直拉硅单晶”项目获得了2015年浙江省技术发明一等奖,多项科技成果实现产业化,并取得了可观的经济效益,2015年企业实现销售收入5.8亿元,实现净利润4000余万元。
金瑞泓硅材料研究技术创新团队,目前共有成员63人,其中核心研发成员9人,硕士以上学历41人。团队带头人田达晰博士,长期致力于硅单晶生长研究,是目前中国在一线从事半导体硅单晶材料研究和制造的主要技术专家之一。该团队自从公司承担国家02科技重大专项以来,创新团队通过不断研发创新,使公司取得了丰硕成果,共获授权专利20项,其中发明专利10项,成功研发了重掺磷直拉硅单晶制备技术和应用、微量掺锗直拉硅单晶等项目,目前公司已具备了全系列8英寸硅抛光片和外延片制造能力,掌握了掺氮直拉硅单晶、整根单晶电阻率<0.0013Ωcm8英寸重掺磷硅单晶、整根单晶电阻率<0.003 Ωcm8英寸重掺砷硅单晶等多项核心技术。是国内最大的硅抛光片和外延片生产基地之一,是我国半导体支撑业最具影响力企业、国家火炬计划重点高新技术企业、国家863计划产业化基地、国家创新型试点企业等。