我省建成国内首个IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台IC设备关键零部件打破进口依赖

3月29日，从省科技厅了解到，由沈阳富创精密设备有限公司承担的“十二五”国家科技重大专项“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”日前顺利通过验收。这标志着我国IC设备零部件在国产化进程中又迈出了重要一步，打破了该领域核心零部件长期依赖国外进口的被动局面，大幅度提升了我国IC设备制造产业链的整体竞争力。

由于国内供应商配套能力严重缺失，长期以来我国IC设备生产企业普遍面临关键零部件采购成本大、采购周期长等问题，迫切需要解决零部件和集成制造的本土化。沈阳富创精密设备有限公司联合中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京美桥电子设备有限公司、中国科学院沈阳自动化所等单位，集中力量打造研发创新团队，围绕IC设备金属类零部件高效精密加工、表面处理、真空电子束焊等8个课题展开技术攻关与平台建设，突破了一系列技术难题。

目前，该平台已建设成为集精密机械加工、特种表面处理、精密焊接于一体的IC设备精密零部件综合服务平台，建设完成国际水准的金属零部件表面处理及清洗试验线，通过多项国际先进的表面处理制程认证以及世界IC设备整机龙头美国应用材料和东京电子公司的整体考核，并成为其战略供应商。同时，以共享、开放方式为国内10家IC设备企业提供产品研发与技术创新、精密机械零部件的加工制造及特殊表面处理服务，在保证整机零部件工艺质量的基础上，实现替代进口，降低采购成本。截至去年底，已完成相关销售额5727.22万元。