富创精密新松机器国家科技重大专项双双通过验收

       2016年3月26日、27日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”实施管理办公室在沈阳对沈阳富创精密设备有限公司承担的“十二五”国家科技重大专项“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”、沈阳新松机器人自动化股份公司承担的“IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化”两个项目进行验收。两个项目双双顺利通过专家组考核，正式结题验收。

　　我区共承担15项国家02专项项目，截至目前，已完成6项项目的验收工作。此次两个专项一起顺利通过国家专家组验收，充分展示了沈阳在高端精密零部件加工、关键单元部件制造方面的实力，标志着我国IC装备在零部件和功能部件制造国产化进程中迈出了重要的一步，不仅打破了该领域核心零部件长期依赖国外进口的被动局面，填补了国内空白，还大幅度提升了我国IC装备制造产业链的整体竞争力。

　　沈阳富创精密设备有限公司成立于2008年，致力为半导体生产设备和半导体生产企业提供高端、关键零部件及备件的研发、制造服务，技术达到国际先进、国内领先水平，现已成为我国半导体装备产业零部件配套环节的重要支撑点。客户包括上海微电子、北方微电子、七星华创、上海睿丽、沈阳科仪、芯源、新松等国内IC装备领军企业，更成为了美国应用材料、日本东京电子的全球战略合作伙伴。2011年，沈阳富创精密设备有限公司联合中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京美桥电子设备有限公司、中国科学院沈阳自动化所等单位打造研发创新团队开展技术攻关，经过近五年的艰苦努力，突破了数十项高等级精密零部件关键制备技术和生产加工工艺，申请专利27项(其中发明专利15项，实用新型专利12项)，生产出数万件符合国际标准的精密零部件产品，建成了集精密机械加工、特种表面处理、精密焊接于一体的IC设备精密零部件综合服务平台，建设完成国际水准的金属零部件表面处理及清洗试验线，通过多项国际先进的表面处理制程认证以及世界IC设备整机龙头企业美国应用材料公司、日本东京电子公司40余项认证，成为其战略供应商，表明了富创精密公司已具备了为世界顶级半导体公司持续提供稳定、高品质半导体零部件的能力。

　　沈阳新松机器人自动化股份公司，于2009年联合上海交通大学、哈尔滨工业大学组建研发团队，围绕IC装备机械手关键部件与核心技术进行了深入、系统的研究和攻关，经过长达七年的不懈努力，先后攻克了直驱电机控制系统、多轴同轴直接驱动与真空隔离、对称连杆型直驱型机械手设计、高真空与高洁净环境下精密伺服控制等数百项关键技术，建立了真空机械手应用测试平台、机械手可靠性测试系统、机械手性能测试系统等七大平台，建立了160余人的研发团队。成功开发出大气机械手、真空机械手、单双臂机械手等多种产品，一举打破了国际垄断和技术封锁，并成功在国产刻蚀机、CVD、PVD等整机设备中实现应用。累计申请发明专利106项(国内发明专利95项、国际发明专利11项)，销售产品271台，实现销售额1.6亿元。

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