先腾光电亮相2014国际半导体展览会多项国际领先技术技压群雄
(记者 杜烁)3月18日至20日,2014国际半导体设备及材料展览会在上海新国际博览中心举行。邢台先腾光电科技有限公司携完全自主知识产权的LED光刻机生产技术在展会上精彩亮相,其中大尺寸亚微米i—线光学透镜设计、光刻机整机实时控制系统软件和最新的系统软件架构、完整的产品集成供应链等多项国内首创、国际领先水平的技术受到国内外同行的广泛赞誉。
据了解,2014国际半导体设备及材料展览会是由国际半导体设备与材料协会和中国电子商会共同主办的全球最大的泛半导体展会,融汇了全球最新技术和产品,代表着半导体、平板显示和太阳能光伏行业全球领先水平。
作为一家设计、研发和生产销售泛半导体光刻设备的高新技术跨国企业,邢台先腾光电从成立之初,就大力实施科技先导人才战略,依托荷兰研发中心和北京研发中心,瞄准全球最先进的光刻技术,不断引进、消化和再创新,逐步推进公司光刻机生产的规模化和系列化。该公司研制的第一台成品光刻机AT-STPPER100本月底即将下线。
据该公司副董事长桂成群介绍,位于市开发区的一期LED光刻机项目于去年5月份启动。该项目投资5亿元,建成后将达到年产60台LED芯片光刻机的能力。
光刻机是全球技术最高端、产业门槛最高的行业之一,集精密光学、机械、控制、材料、纳米技术等先进科学技术和工程技术于一体。它的研发过程及研发成果对集成电路产业和信息产业的发展具有极大的技术带动作用。目前世界上只有荷兰、日本、美国等少数几个国家能够提供成台设备。
省科技厅高新处处长蒋栋表示,先腾光电研制出成品光刻机,对于完善我国IT产业链,打破进口依赖,建立自主知识产权的创新型经济具有重要意义,必将有力提升邢台乃至河北省的科技竞争力,极大促进邢台产业转型升级和发展步伐。