上海微电子十几年坚持研发让国产光刻机抢滩国际市场

　　互联网时代的繁荣，从技术层面看，靠的是一块块刻着细密电路的半导体芯片，而将蕴藏着智能的集成电路刻上硅片的，则是光刻机。芯片越做越小，用来雕刻芯片的光刻机则越来越复杂，成为集光机电等多学科尖端技术于一体的智能制造业中的珠穆朗玛峰。

　　面对发达国家的技术封锁，中国能靠自己力量登上这座珠穆朗玛峰吗？

　　2002年，光刻机被列入国家863重大科技攻关计划，由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司来承担，2008年国家又启动了02科技重大专项予以衔接持续攻关。经过十几年潜心研发，我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术。

　　更值得一提的是，虽然用于集成电路前道制造的光刻机工作母机的研发之路还未达终点，但一路伴随研发诞生的相关技术，已开始产生辐射效应：先进封装光刻机已占领了90%的国内市场，预计未来两年国际市场占有率可达50%；OLED光刻机已形成了成熟产品，也已进入海外市场销售。

　　创新资源整合，站上全球产业制高点

　　浦东张江，上海微电子创始人贺荣明就在这里，与最初的几位创业者开始了光刻机的研发之路。当时国内懂行的人寥寥无几，国际上又封锁技术。而当时所有投入，在国外只够造一个超净车间。贺荣明说，尽管如此，技术上有再多困难，他也有信心克服，当时要让人理解光刻机的意义、技术风险，才是最难的。想象一下，一束激光经过上百块玻璃的聚焦，在硅片上刻下一道道相距仅几十纳米宽的电路这难度相当于坐在一架超音速飞行的飞机上，拿着线头穿进另一架飞行中的飞机上的针孔。

　　但再难也要做，因为造不出自己的光刻机，集成电路产业的命脉就不能掌握在自己手中。目前，世界上仅有美、德、日等少数几个国家有制造能力。

　　英国一位经济学家指出，长期而富有耐心的政府资助是突破性创新的绝对先决条件。作为国家十五、十一五、十二五发展规划中的重点制造装备，光刻机得到了稳定的资助。让这个项目落地上海，是上海市政府富有战略眼光的决策，是真正具有创新精神的决策。贺荣明说，从建造大楼、研发经费配套，到政策扶持，上海市政府为光刻机的成长，提供了稳定而长期的支持。

　　作为制造业皇冠上的明珠，光刻机的制造集光机电等高技术于一体，任何一个零部件的生产要求，都可能为一个配套产业带来创新能级提升的机会。贺荣明说，整个研发过程相当艰苦，除了出差，每天早上7点出门，晚上10点回家，就是他这十几年生活的全部。

　　然而，忍受这种煎熬是值得的。从2012年开始，培育起了供应链的上海微电子，开始沿途下蛋，利用已经掌握的光刻机技术，开发出了一系列光刻机产品，不到两三年就走向了国际市场。据悉，先进封装光刻机500系列一进入市场，就迫使国外同行产品降价近1/3。

　　将创新基因注入人才团队

　　创新，靠的是人才。上海微电子极为注重自己培养研发队伍。

　　十几年前，国内真正懂光刻机的人才很少，由于高端光刻机人才的稀缺性及受到国际技术限制等综合因素，从海外引进，一是可能性很小，二是回来可能水土不服。几经尝试和综合考虑，上海微电子决定采用以自主培养为主、引进吸收为辅的人才培养策略，实践证明，这是符合我们国情的有效方法。

　　公司人事总监贺跃进说，由于光刻机需要多学科、大团队协作，要求既尊重人才，又不过分依赖个人。为此，他们已经形成了一整套人才快速培养的机制。

　　随着研发团队日益庞大，如何向团队内注入创新基因，使其不断产生强大的创新变异能力？三年前，上海微电子推出鼓励员工创新的黄昏工程，每年组织评选出10个年度创新研究课题，每个资助10万元，创新研究过程中如果失败可免责，成功有奖，不断营造企业创新氛围。如今，黄昏工程已产生多项发明专利。未来他们还将推出企业内部创新币，搭建创新交易平台，让创新变得更活跃。