全国首届颠覆性技术创新大赛高维公司斩获优秀奖

　　近日，从青岛举办的全国首届颠覆性技术创新大赛传来喜讯：市高新区高维等离子体源科技（孝感）有限公司参赛项目“表面耦合诱导可多级放大增益等离子体系统”获得优秀项目奖。

　　“表面耦合诱导可多级放大增益”作为一项颠覆性技术，将持久深入广泛地影响包括但不限于半导体装备和材料、受控核聚变、高温工业、石油化学工业、煤化工、化学合成工业、科学研究等众多领域。该公司团队发明的这一颠覆性技术，希望籍此解决包括但不限于ASIL/CYMER垄断的EUV光源技术在内的一系列中国面临的“卡脖子”技术问题。

　　据悉，高维等离子体源科技公司获奖项目从基础材料、核心器件、零件部件和整机系统系完全自主创新，核心创新有两点：一是基于设计特异新材料的表面特征，使之耦合分子可吸收表面等离子体波的激发并诱导产生等离子体；二是对已产生的等离子体可多次馈能进行持续放大增益，直到等离子体被激发成为不同应用所需要的理想高阶电离高激发态离子。可全面替代传统等离子体源技术的应用领域并可开拓前所未有的新应用。